Профилометр uSTEP 300
Большой набор методов неразрушающего контроля на единой платформе.
Профилометр позволяет проводить диагностику пластин различного диаметра вплоть до 300 мм включительно.
Система позиционирования пьезосканера работает с точностью до 25 нм в латеральной плоскости образца.
Профилометр для измерения шероховатости поверхности
Активное развитие отечественной микроэлектроники не может проходить без соответствующего совершенствования диагностических средств. В частности, разработка монолитных интегральных полупроводниковых пластин требует достоверного измерения геометрических, механических, химических и электрофизических параметров на протяжении всех этапов производства.
Своевременное тестирование, обнаружение и устранение дефектов – необходимая составляющая для повышения выхода годной продукции, а также сокращения времени изготовления. При этом совмещение различных диагностических методов в рамках одного прибора приводит к оптимизации всего процесса производства.
Именно поэтому прибор профилометр uSTEP 300 сочетает в себе методы контактного и неразрушающего контроля для возможности всесторонней оценки полупроводниковой продукции
Своевременное тестирование, обнаружение и устранение дефектов – необходимая составляющая для повышения выхода годной продукции, а также сокращения времени изготовления. При этом совмещение различных диагностических методов в рамках одного прибора приводит к оптимизации всего процесса производства.
Именно поэтому прибор профилометр uSTEP 300 сочетает в себе методы контактного и неразрушающего контроля для возможности всесторонней оценки полупроводниковой продукции
Варианты профилометра uStep 300
Стилусный
Принцип работы стилусных профилометров основывается на поддержании обратной связью постоянной силы давления стилуса (зонда) на поверхность образца. Проходя вдоль исследуемой поверхности, стилус восстанавливает ее поперечный профиль. Накапливая определенное количество последовательно расположенных профилей, удается восстановить трехмерный профиль поверхности исследуемого материала. В зависимости от остроты зонда, радиус закругления которого может быть от десятка микрометров до субмикрометрового размера, возможно корректировать прецизионность измерений. Данный способ анализа подходит для быстрых потоковых измерений материалов со слабо развитой поверхностью.
Зондовый
Для того, чтобы более полно охарактеризовать структуру материала с точки зрения его электрофизических свойств, в профилометре uSTEP 300 предусмотрено использование традиционного способа измерения поверхностной проводимости четырехзондовым методом, что может быть особенно полезно при работе с различными электротехническими материалами.
Атомно-силовой
Атомно-Силовые Микроскопы (АСМ) и профилометры конструктивно и принципиально объединяет использование острых зондов для исследования морфологии поверхности. Однако радиус закругления острия АСМ-зонда характеризуется нанометровыми размерами, что позволяет исследовать образец с большей детализацией. Кроме того, использование так называемого прерывистоконтактного метода АСМ значительно снижает механическую нагрузку на зонд, предотвращая деградацию как образца, так и самого зонда. Комбинации различных режимов работы в АСМ позволяют получить дополнительную информацию о локальных механических (жесткость, адгезии, модуль Юнга, и др.), электрических (проводимость, емкость, поверхностный потенциал, и др.), магнитных особенностях образца.
Оптический
К бесконтактным способам определения шероховатости поверхности относят оптическую профилометрию, при которой вместо физического зонда используется оптическое излучение. Оптическая профилометрия подразделяется в зависимости от способа реализации на интерференционную, конфокальную, фокусирующую и др. Реализуемая в uSTEP 300 интерферометрическая профилометрия использует светоделительное стекло и зеркало для создания интерферометрической картины, которая фиксируется фотодетектором для анализа разности хода лучей и, как следствие, перепада высот исследуемой поверхности. Главными преимуществами данного метода перед остальными являются возможность получения результата измерения в реальном времени, а также отсутствие механического контакта с поверхностью, что позволяет избежать деформации материала.
Лазерный спектральный анализатор «Раман-зонд»
С помощью профилометра uSTEP 300 возможно производить одновременное картирование шероховатости поверхности и анализ химического состава за счет совмещения зондовых и оптических методов исследования. Прибор оснащен спектрометром, что позволяет локально измерять спектры комбинационного (рамановского) рассеяния света, фотолюминесценции, рассеяния и др., получая информацию в режиме реального времени. Конфигурация «Раман-зонд» может включать в себя лазеры с разными длинами волн: 405, 532, 633 и 785 нм.
Атомно-силовой нанолитограф (АСНЛ)
Основанный на технологиях сканирующей зондовой микроскопии атомно-силовой нанолитограф позволяет создавать уникальные структуры с разрешением вплоть до 10 нм без использования масок. Используемое программное обеспечение поддерживает возможности как растровой, так и векторной литографии. Шаблоны, по которым осуществляется литография, могут быть как сформированы вручную внутри программного обеспечения, так и загружены извне. АСНЛ поддерживает различные режимы литографии: механическую, электрическую и т.д.
Схема профилометра uStep 300
Технические характеристики
Преимущества и особенности uSTEP 300
- Возможность анализировать образцы с разным перепадом по высоте от моноатомных ступеней до развитого микрометрового рельефа
- Новое поколение электроники с низким уровнем шумов обеспечивает исследование шероховатости с точностью до 2.7 А
- Моторизованный позиционер большого размера позволяет исследовать образцы с диаметром до 300 мм
- Точность позиционирования в латеральной плоскости 25 нм
- Монолитная конструкция основания профилометра снижает влияние паразитных шумов в полосе частот выше 200 Гц на 30 дБ
- Удобное и простое в использовании программное обеспечение, открывающее возможности к быстрым потоковым измерениям при межоперационном контроле
- Низкая нагрузка на образец весом 0.03 – 10 мг, что позволяет деликатно работать с исследуемыми материалами без повреждения поверхности
- Встроенная вспомогательная оптика включает в себя моторизированную систему управления фокусом, увеличением и перемещением в латеральной плоскости
- Для сокращения влияния дрейфа и теплового шума система может быть дополнена термостабилизирующим шкафом
Оставьте заявку на профилометр uStep 300
мы свяжемся с вами в ближайшее время
заполняя данную форму, вы соглашаетесь с правилами конфиденциальности и обработки персональных данных