Зондовая станция
uPROBE 200
Полуавтоматическая зондовая станция предназначена для передовых процедур тестирования полупроводников.
Станция осуществляет точные и воспроизводимые измерения постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности, а также позволяет проводить измерения оптических параметров фотонных компонентов.
зондовая станция
Быстрое и точное моторизованное позиционирование образца в латеральной плоскости и поворота вокруг вертикальной оси при помощи шаговых двигателей. Предметный столик оснащен нагревательным устройством.
Устойчивая стальная платформа на моторизованных опорах, реализующая режимы загрузки образца, промежуточный и контактный. Платформа допускает установку до 8 микропозиционеров зондов с магнитным креплением.
Видеомикроскоп с моторизованной четырехпозиционной турелью и высокоточным фокусирующим устройством.
Гибкое программное обеспечение для управления станцией, с возможностью создания алгоритмов автоматической работы и сохранения изображений с оптического видеомикроскопа.
Технические параметры
| Тип управления | Полуавтоматическая станция с моторизованным управлением предметным столиком |
| Типы объектов измерений | Измерения электрические низковольтные Измерения СВЧ параметров планарных компонентов Измерения оптических параметров фотонных компонентов |
| Моторизованный предметный столик | |
| Область перемещения по осям X, Y | ± 100 мм |
| Разрешение перемещения | ≤ 1 мкм |
| Угол вращения | ± 180 ° |
| Разрешение вращения | ≤ 4' (угловых минут) |
| Держатель для пластин | |
| Поддерживаемые размеры образцов | Кристаллы или пластины от 25 до 200 мм |
| Плоскостность поверхности держателя | ≤ ± 5 мкм |
| Прогиб | ≤ 15 мкм по краю |
| Способ фиксации образца | Многозонный вакуумный прижим, с механической активацией |
| Температура нагрева образца | От +30 до +250 °С |
| Зондовая платформа | |
| Материал | Сталь |
| Максимальное кол-во микропозиционеров | До 8 позиционеров |
| Разрешение платформы по оси Z(высота) | ≤ 0,3 мкм |
| Область перемещения по оси Z(высота) | 0…5 мм и 0…20 мм |
| Крепление позиционеров | Магнитное |
| Микропозиционеры | |
| Тип микропозиционеров | Механические с микрометрическими винтами, трёхкоординатные |
| Диапазон микропозиционирования по осям | ± 4 мм |
| Видеомикроскоп | |
| Турель для объективов | Моторизованная |
| Максимальное кол-во объективов | 4 шт |
| Осветитель | Светодиодный |
| Камера | Цветная, CMOS, 5 МП |