Активная Фотоника на «Микроэлектронике 2025»: новые приборы uVISION 300 и uTRACK 300

Активная Фотоника представила на форуме «Микроэлектроника 2025» линейку решений для метрологии и инспекции. Премьеры экспозиции — инспекционная машина uVISION 300 и высокоточный XY‑позиционер uTRACK 300. Вместе с новинками компания демонстрирует проверенные приборы: рамановский спектрометр, совмещённый с СЗМ NTEGRA Spectra, и профилометр uSTEP 300.

В секционной программе форума прозвучал доклад «Зондовые и оптические технологии в задачах метрологии и инспекции современной микроэлектронной промышленности». Специалисты компании показали, как современные подходы позволяют контролировать структуру, топографию и свойства материалов на уровнях пластин и устройств, обеспечивая высокую точность и воспроизводимость измерений.

Форум «Микроэлектроника» с 2015 года является ключевой отраслевой площадкой, объединяющей разработчиков, производителей и исследовательские центры. Активная Фотоника участвует во форуме второй год подряд, последовательно развивая решения для интегральной фотоники, квантовых технологий и микроэлектронного производства. Компания входит в группу «НТ‑МДТ».